Өндөр нягтралтай логик, санах ойд зориулж хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн зарцуулалт нэмэгдэж байна

Олон улсын хагас дамжуулагч худалдааны тэргүүлэгч байгууллага SEMI 2022-р сард Сан Франциско хотод Semicon бага хурлаа зохион байгуулав. SEMI нь 2023 онд хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн эрэлт мэдэгдэхүйц өсч, XNUMX он хүртэл шинэ хэрэглээний эрэлт хэрэгцээ, автомашин зэрэг одоо байгаа бүтээгдэхүүний хомсдолыг хангахаар таамаглаж байна. Мөн бид EUV ашиглан жижиг онцлогтой хагас дамжуулагч хийх зарим бүтээн байгуулалтыг авч үздэг.

SEMI компани хагас дамжуулагчийн тоног төхөөрөмжийн зарцуулалтын байдал, 2023 оны төсөөллийн талаар Semicon-ийн үеэр хагас дамжуулагчийн тоног төхөөрөмжийн дунд жилийн урьдчилсан мэдээнээс хэвлэлийн мэдээг нийтэллээ. SEMI-ийн мэдээлснээр, анхны тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчдийн нийт хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжийн дэлхийн борлуулалтын хэмжээ 117.5 ам.долларт хүрэх төлөвтэй байна. 2022 онд тэрбумд хүрч, 14.7 онд 102.5 тэрбум ам.доллар байсан өмнөх салбараас 2021%-иар өсч, 120.8 онд 2023 тэрбум доллар болж өснө. Доорх зурагт хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн борлуулалтын сүүлийн үеийн түүх, 2023 он хүртэлх төсөөллийг харуулав.

Өргөст хавтангийн тоног төхөөрөмжийн зардал 15.4 онд 2022%-иар нэмэгдэж, 101 онд 2022 тэрбум доллар болж, 3.2 онд 2023%-иар нэмэгдэж, 104.3 тэрбум ам. Доорх зурагт SEMI-ийн тооцоолол ба хагас дамжуулагчийн хэрэглээний тоног төхөөрөмжийн зарцуулалтын төсөөллийг харуулав.

SEMI хэлэхдээ, "Тэргүүний болон боловсорсон процессын зангилааны эрэлтээс шалтгаалан цутгамал болон логик сегментүүд жилийн өмнөхөөс 20.6% -иар өсч 55.2 онд 2022 тэрбум доллар, 7.9 онд 59.5% -иар нэмэгдэж 2023 тэрбум долларт хүрэх төлөвтэй байна. Энэ хоёр сегмент нь вафель фабын төхөөрөмжийн нийт борлуулалтын талаас илүү хувийг эзэлдэг."

Уг хувилбарт "Санах ой, санах ойн эрэлт ихтэй байгаа нь энэ жил DRAM болон NAND төхөөрөмжийн зарцуулалтад хувь нэмрээ оруулсаар байна. DRAM тоног төхөөрөмжийн сегмент нь 2022 онд 8%-иар өсөж, 17.1 тэрбум долларт хүрэх төлөвтэй байгаа өргөтгөлийг тэргүүлж байна. NAND төхөөрөмжийн зах зээл энэ онд 6.8 хувиар өсөж, 21.1 тэрбум долларт хүрэх төлөвтэй байна. 7.7 онд DRAM болон NAND төхөөрөмжийн зардал 2.4% ба 2023%-иар тус тус буурах төлөвтэй байна."

2022 онд хамгийн том тоног төхөөрөмж худалдан авагч нь Тайвань, Хятад, Солонгос бөгөөд Тайвань тэргүүлж, Хятад, Солонгос удаална.

Интеграл хэлхээг нэвтрүүлснээс хойш жижиг функцуудыг бий болгох нь өндөр нягтралтай хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийн тасралтгүй хөдөлгөгч хүч болж ирсэн. 2022 оны Semicon-ийн хуралдаанууд нь литографийн агшилт болон 3D бүтэц, чиплетүүдтэй гетероген интеграцчилал гэх мэт бусад аргууд нь төхөөрөмжийн нягтрал, ажиллагааг үргэлжлүүлэн нэмэгдүүлэх боломжийг хэрхэн олгохыг судалсан.

Semicon Lam Research-ийн үеэр химийн тэргүүлэгч нийлүүлэгчид болох Entegris болон Gelest (Mitsubishi Chemical Group компани) нар хэт ягаан туяаны (EUV) литографийн хувьд Ламын хуурай фоторезист технологийн урьдал химийн бодис бүтээхээр хамтран ажиллахаа зарлав. EUV, ялангуяа өндөр тоон диафрагмын (NA) дараагийн үеийн EUV нь хагас дамжуулагчийн масштабыг жолоодох гол технологи бөгөөд ойрын хэдэн жилд 1 нм-ээс бага хэмжээтэй функцуудыг ашиглах боломжийг олгодог.

Ламын дэд захирал Дэвид Фридийн хэлсэн үгэндээ хуурай (жижиг металлорганик хэсгүүдээс бүрдэх) нойтон эсэргүүцэлтэй харьцуулахад өндөр нарийвчлал, процессын өргөн цонх, өндөр цэвэршилтийг хангаж чадна гэдгийг харуулсан. Хуурай нь ижил тунгаар цацрагийг тэсвэрлэдэг, шугамын нуралт багасч, улмаар согог үүсгэдэг. Нэмж дурдахад, хуурай эсэргүүцлийн хэрэглээ нь хог хаягдал, өртөгийг 5-10 дахин бууруулж, нэг вафель нэвтрүүлэхэд шаардагдах хүчийг 2 дахин бууруулдаг.

ASML-ийн Майкл Лерсел хэлэхдээ, өндөр тоон диафрагмыг (0.33 NA) доор үзүүлсэн шиг логик болон DRAM-д зориулж үйлдвэрлэж байна. EUV руу шилжих нь илүү нарийн шинж чанаруудыг олж авахын тулд олон тооны загварчлалаас үүсэх нэмэлт процессын цаг, хог хаягдлыг багасгадаг.

Зураг нь ASML-ийн EUV бүтээгдэхүүний замын зураглалыг харуулсан бөгөөд дараагийн үеийн EUV литографийн төхөөрөмжийн хэмжээсийн талаархи санааг өгдөг.

SEMI нь эрэлт хэрэгцээг хангах, чухал бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн хомсдолыг бууруулахын тулд 2022, 2023 онуудад хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн хүчтэй эрэлтийг таамаглаж байна. LAM, ASML дахь EUV хөгжүүлэлт нь 3 нм-ээс доош хэмжээтэй хагас дамжуулагчийн шинж чанарыг жолоодох болно. Чиплетүүд, 3D өлгүүрийн стекүүд болон гетероген интеграцид шилжих нь илүү нягтралтай, илүү ажиллагаатай хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийг жолоодоход тусална.